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單晶爐“棒擺”原因分析及應對對策

[2014/1/2]

  單晶爐是一種在惰性氣體環境中,使用加熱器將多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。單晶爐在感應熔煉中應用很普遍,不過作為一種熔煉設備出現故障是在所難免的,“棒擺”就是一種常見的單晶爐故障,今天小編就和大家分享一下單晶爐出現“棒擺”的原因和解決方法。

單晶爐“棒擺”原因分析及應對對策

  “棒擺”是專業術語,其實就是同城我們所說的單晶爐晶棒晃動,可能發生在整個單晶爐拉晶的各個階段。而產生晶棒晃動的原因有很多,到目前為止也沒有一個確定的答案,但是主要是由于以下幾個地方出現故障造成的:
  1.提拉頭,減速機構/旋轉機構或者熱場和軟軸。
  2.惰性氣體如氬氣在爐內的流動,爐子的結構設計出現問題,熱場的設計和分布不均勻。
  3.冷卻系統和真空系統出現故障,硅料和重錘的結構出現偏差。
  不僅單晶爐的晶棒會晃動,液面也有可能出現抖動現象,液面出現抖動的原因主要有以下幾點:
  1.下軸傳動部分出現蝸輪斷齒等減速器故障。
  2.下軸機械部分出現問題,比如有死點有雜物或者潤滑程度不夠等。
  我們在使用的單晶爐的時候,不僅要掌握單晶爐操作步驟,而且要能在單晶爐出現故障時及時發現原因并采取有效的應對措施。
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