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感應熔煉操作步驟及常見故障分析

[2014/2/12]

    感應熔煉的步驟有用前檢查單晶爐、試用單晶爐、單晶爐正式工作、熔煉產品抽檢、調整測試、使用單晶爐完成后安全斷電,這些步驟都不可以省略。
    在感應熔煉之前應當檢查好設備,看看有沒有明顯損壞的零部件,然后根據說明書的要求來操作試用,如果經過試用工作正常,就可以開始正式生產了,但是生產的過程中也要不斷地檢查下產品,看產品的某些指標是否達標,產品質量是否合格,如果指標不達標、質量不合格就要調整下機器,直到熔煉的產品的品質達到要求為止。

單晶爐熔煉


    常見的單晶爐故障有晶棒晃動,單晶爐晶棒晃動機器仍然可以正常運轉,但是生產效率低,感應熔煉的產品質量差所以為了提高感應熔煉的效率和質量,不能盲目的熔煉,一定要對單晶爐進行檢查。晶棒晃動要檢查一下提拉頭、冷卻系統和真空系統。如果是提拉頭出現問題,就要維修調整下減速機構或旋轉機構。如果是冷卻系統和真空系統出現問題,需要調整一下硅料和重錘結構。如果檢查這些地方沒有問題,看一下氬氣等惰性氣體是否在爐內流動,氬氣在爐內流動的話,就需要改裝一下單晶爐了,保證單晶爐熱場分布均勻。
編輯:wq

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